参数测试时,通常测试系统(ATE)的TESTER将电流或者电压输入被测器件(DUT),然后测量该器件对于此输入信号的响应。信号的通常传输途径为:从测试仪通过电缆束至测试头,测试头至探针卡,然后通过探针至芯片上的测试点(PAD),到达测试器件,并最后沿着原路径返回测试仪器。